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电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染（AMC)，在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。它具有ppt级的灵敏度，传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。AirSentryII传感器配有中央控制软件，可以轻松地采集分析数据。AirSentryII传感器提供连续可追溯的数据，来快速回应污染源和污染事件。
电子迁移率光谱仪的特点：
1.酸类和基底（胺类、氨以及氯化物）的高灵敏度检测
2.使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置
3.体积小，可放在任何位置
4.以太网，RS-232,4-20毫安输出
5.连续监测关键点
6.耐久可靠的数据收集、控制、分析
7.长期数据稳定性
8.每份测试成本
9.采样方式灵活，对于稀有和贵重金属的检测和分析可以节约取样带来的损耗。
10.测试速率高，可设定多通道瞬间多点采集，并通过计算器实时输出。
11.对于一些机械零件可以做到无损检测，而不破坏样品，便于进行无损检测。
12.分析速度较快，比较适用做炉前分析或现场分析，从而达到快速检测。
13.分析结果的准确性是建立在化学分析标样的基础上。
电子迁移率光谱仪应用：
1.在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
2.在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
3.化学过滤器有效率的资格确认
4.遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
5.前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析
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电子迁移率光谱仪长期数据稳定